气动超高真空插板阀技术规范

气动超高真空插板阀技术规范本发明涉及真空机械领域，具体涉及一种用于侧驱式气动高真空插板阀与旋转驱动联结结构。气动超高真空插板阀系列阀门为气动驱动方式，在结构设计上合理，在外形上美观，并具有动作平稳、体积小、使用可靠、密封性能好和寿命长等优点，能广泛应用于超高真空设备中。真空阀门是以压缩空气推动气缸为动力，通过传动杆推（拉）动连杆机构，带着驱动体沿轴向运动，驱动体通过摆杆或钢珠与阀板连接，完成阀板开启及关闭动作。阀门的介质为空气及非腐蚀性气体。
气动超高真空插板阀是通过电磁换向阀改变气路方向，控制执行气缸驱动阀板作上下运动，达到阀门的开启或关闭。阀门用于接通或切断真空管路中的气流。气动超高真空插板阀适用介质为纯净空气和非腐蚀性气体。气动超高真空插板阀带反馈信号装置。

气动超高真空插板阀技术规范特点
轴封为波纹管密封，其它密封件为氟橡胶，无润滑剂设计；
阀体采用不锈钢内部焊接，漏率小；
阀体采用加强筋结构，体积小、重量轻，外形美观；
采用双导轨轴承滚轮机构，运动平稳；阀板内整体式结构，支撑力均匀。
超高真空气动插板阀主要零件材料
阀体、阀板：不锈钢
密封件：氟橡胶、波纹管(轴封)、橡胶
气动超高真空插板阀主要技术性能
适用范围： 105~1.3×10-7 Pa
阀体和阀座漏率：  ≤1.3×10-7 Pa.L/S(DN≤200)；≤6.7×10-7 Pa.L/S(DN≥250)
适用温度： -30~+150℃
阀体烘烤温度：打开时≤200℃；关闭时≤150℃
阀门开启时阀板两侧的压差：≤2.7×103 Pa
阀门启闭时间：DN 63~250 ≤6s；DN 320~400 ≤10s
气源压力：  DN 63~200：0.4～0.7MPa；DN 250~400：0.5～0.7MPa
阀门位置指示：带有启闭位置指示开关（磁性开关）
安装位置：任意

气动超高真空插板阀技术规范

该阀结构合理，阀板与阀体密封时漏气速率小于1×10-7Pa·L/s；阀门总漏气速率小于5×10-8Pa·L/s；阀板开启时阀体烘烤温度小于150℃；手动装置允许受热温度小于65℃；工作稳定可靠，操作方便；可远距离控制。气动驱动部件以压缩干燥空气为动力，通过电磁换向阀使气动部件带动传动装置，使阀门往复运动实现启闭作用，达到密封的目的。

气动超高真空插板阀技术规范背景技术：
在真空阀门中，由于电动驱动成本较高，手动驱动使用不便，气动是见的驱动方式之一。侧驱式高真空插板阀的驱动元件在阀箱的侧面，这种设计利用旋转式的驱动代替直线式驱动，可以减小产品的安装空间，增加空间利用率。而采用气动方式，无论是气动元件本身，还是使用、维护、维修的成本均比较低，因此旋转气动元件(旋转气缸)成为侧驱式高真空插板阀的。
目前旋转气缸的样式普遍趋于一致，规格和样式也趋于标准化，外形是长方体，长方体的一个面上是一个可相对气缸基体(长方体)旋转的圆盘，圆盘上有4-8个螺纹孔，用于联结其他零部件，通过圆盘的旋转带动其他零部件完成旋转运动。然而这种结构形式的气缸并不能直接应用于侧驱式高真空插板阀：首先，无法通过旋转圆盘直接将运动传递至阀箱内侧；气缸上也没有用于安装动密封和静密封结构的设计；气缸基体上只有用于固定的盲孔，而没有设计任何可以用于和高真空插板阀阀箱固定的结构。结合侧驱式高真空插板阀的外部结构和内部运动机构，旋转驱动元件的联结需要满足以下几点：二、一、驱动元件安装在插板阀阀箱的外侧，需要将旋转运动传递给阀箱内侧的阀芯运动机构；传递旋转运动的部位需要动密封；
三、驱动元件与阀箱之间需要静密封；
四、驱动元件基体部分(非旋转部分)还需要与阀箱相对固定。
技术实现要素：
本发明从侧驱式高真空插板阀对旋转式驱动元件的应用需求出发，结合高真空插板阀与标准式旋转气缸的结构特点，提出一种旋转驱动元件联结方法，用于解决现有旋转气动元件不适用于侧驱式气动高真空插板阀的问题。

气动超高真空插板阀技术规范为了实现上述目的，本发明采用的技术方案如下：
一种用于侧驱式气动高真空插板阀与旋转驱动联结结构，包括旋转轴、动密封保持架以及联结体；所述旋转轴穿过所述动密封保持架与所述联结体相连。所述的旋转轴、动密封保持架以及联结体可以是几个独立的零件、可拆卸的组件，或者同一个零件或组件上具备所述三个主要部分的功能，可实现气动旋转元件和侧驱式高真空插板阀阀箱的密封联结，并将气动元件的旋转运动传递至阀箱内部的阀芯机构。
优选地，所述的旋转轴上设有气动元件连接端和传动机构连接端；所述的旋转轴通过气动元件连接端和气动元件连接，与气动元件的旋转部位同时转动；所述的旋转轴通过传动机构连接端与高真空插板阀内部阀芯传动机构联结，联结方式为螺纹或销钉等可拆卸的连接方式。
优选地，所述气动连接端通过螺纹等紧固方式与气动元件的旋转圆盘相连，从而获得与其相同的转动角速度。
优选地，所述气动连接端通过齿轮或链条等其它运动传递的方式与气动元件的旋转圆盘相连，通过获得转动比，放大或缩小转动角速度。
优选地，所述的动密封保持架内部安装动密封结构的中空凸台，以及一个用于和阀箱固定，并可以为阀箱法兰上静密封提供压紧力的压紧面；所述动密封保持架的中空凸台的高度取决于动密封结构所需厚度。
优选地，所述联结体包括气缸连接端、阀箱法兰连接端以及中空段，中空段将气缸连接端和阀箱法兰连接端相连；气缸连接端用于与气动旋转元件的基体部分，即非旋转部位，匹配连接；阀箱法兰连接端用于与侧驱式高真空插板阀阀箱法兰相匹配连接；中空段通过阀箱法兰连接端与阀箱法兰联结固定，对气动旋转元件有支撑作用，且可将所述动密封保持架及其内部的动密封组成部分包络其中。

与现有技术相比，本发明具有如下的有益效果：
本发明中的旋转轴用于将旋转驱动元件的旋转运动传递真空插板阀阀箱内部的传动机构；动密封保持架的设计目的是为设计动密封提供空间，同时还可对静密封提供压紧力；联结体的作用是为气动元件提供一个支撑，同时将旋转轴和动密封与外界环境隔离，减少环境对密封效果和使用寿命的影响。本发明所提供的联结结构适用于橡胶O形圈、磁流体等多种密封形式，可使旋转气动元件有效地应用于侧驱式高真空插板阀。
上所述，本发明描述的一种用于侧驱式气动高真空插板阀与旋转驱动元件联结结构及其设计方法是一种有效的设计方法，根据该方法设计的结构可以在旋转气动元件和高真空插板阀之间建立完整的密封联结，并有效地利用该联结将旋转气动元件的旋转运动传递至阀箱内部的阀芯运动机构，满足侧驱式高真空插板阀的设计需求。
以上所述的具体实施例，对本发明所解决的技术问题、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。